ｵﾗﾝﾀﾞの半導体露光装置ﾒｰｶｰ、ＡＳＭＬﾎｰﾙﾃﾞｨﾝｸﾞは、今週発生した火災によりﾍﾞﾙﾘﾝ工場の一部を閉鎖した。世界的な半導体不足がさらに深刻化するとの懸念が広がった。
現地の消防当局によれば、敷地面積３万2000平方ﾒｰﾄﾙのﾍﾞﾙﾘﾝ工場で火災の影響を受けたのは約200平方ﾒｰﾄﾙ。
ＡＳＭＬの広報担当者は４日、ﾌﾞﾙｰﾑﾊﾞｰｸﾞに対し、影響を受けた部分のみを閉鎖し、それ以外は操業していると語った。
同工場ではＡＳＭＬの先端ＥＵＶ（極端紫外線）装置に使われるウエハークランプやミラーブロックなど、さまざまな部品が生産されている。
閉鎖期間の見通しなどについては明らかにしていない。閉鎖に伴う影響を完全に見極めるには数日かかる見込みだという。
ＡＳＭＬ、火災でベルリン工場を一部閉鎖−半導体不足の深刻化に懸念
https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2022-01-04/R56WBQDWRGG301
