>>95
装置は中古で世界中探せばあるが30年以上前の装置入れるぐらいなら別の装置入れて条件出した方が良いだろう。
換装もあるし、AMATはアホみたいに作業費高いから。
重要なゲート酸化膜辺りは元の装置使うか。そんな高額でもないし。

国内メーカーはチャンスだな。100台以上売れるぞ。