東京エレクトロンは、インクジェット方式を採用した有機ＥＬディスプレー製造装置「Ｅｌｉｕｓ（エリウス）１０００＝写真」を発売した
https://www.nikkan.co.jp/articles/view/00492788
Elius™は、当社とセイコーエプソンが共同開発した有機ELパネル向けインクジェット描画装置です。
Elius™で採用しているインクジェット方式は、年間1千万台以上生産されているセイコーエプソン製プリンターの精密ヘッド技術をベースにしており、
生産工程における材料使用量削減とパーティクル低減を同時に実現します。
アプリケーションとしてホール注入層 / ホール輸送層 / 発光層のパターニングを有します。
https://www.tel.co.jp/product/pro-tham-pc_67.jpg
https://www.tel.co.jp/product/inkjet.html
